三角形金刚石刀具角度高精度自动测量系统和测量方法
基本信息
| 申请号 | CN200910312125.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101718536A | 公开（公告）日 | 2010-06-02 |
| 申请公布号 | CN101718536A | 申请公布日 | 2010-06-02 |
| 分类号 | G01B11/26(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张效东;房丰洲;杨朝鹏;卢永斌 | 申请（专利权）人 | 天津微纳制造技术有限公司 |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人 | 程毓英 |
| 地址 | 300072 天津市南开区卫津路92号天津大学 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于光学测量和加工技术领域，涉及一种基于柔性测头的超精密原位测量装置，包括柔性测头、传像光纤、耦接镜、高精密转台和光学三维测量系统，所述柔性测头被置于高精密转台上，其中心位于转台的旋转轴的轴线上，柔性测头采集的被测面图像，依次通过传像光纤、耦接镜被传送至光学三维测量系统。本发明同时提供一种利用该测量装置实现的超精密加工方法。本发明的测量装置，可以延长并缩减光学测量系统，并且能够实现大曲率面形的测量和超精密加工补偿。 |
