一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台
基本信息
| 申请号 | CN202010145034.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111257600A | 公开（公告）日 | 2020-06-09 |
| 申请公布号 | CN111257600A | 申请公布日 | 2020-06-09 |
| 分类号 | G01Q60/24(2010.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 卓少木;张嘉荣;邓建南;朱相优 | 申请（专利权）人 | 广州精点科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京化育知识产权代理有限公司 | 代理人 | 广州精点科技有限公司;广东工业大学 |
| 地址 | 510006广东省广州市番禺区小谷围街大学城广东工业大学3号、5号、6号楼首层自编之B124之1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于AFM可自动调节光斑大小的方法及其激光辅助平台，主要应用于原子力显微镜的光电流的检测，其中主要包括激光器、光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器、Y手动位移台、XZB位移模组、样品台。所述的激光器发出的激光，经过光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器之后将会汇聚成一个焦点，焦点光斑将打在样品的表面，激发样品产生光电流反应，光斑大小可由算法自动调节，并附与手动微调位移台，实现光斑大小和位置的精准控制。 |
