一种压缩机滑片表面涂层及其制备方法

基本信息

申请号 CN201811378429.9 申请日 -
公开(公告)号 CN109338322B 公开(公告)日 2020-12-29
申请公布号 CN109338322B 申请公布日 2020-12-29
分类号 C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 庄希平;庄泉;郑贺;汪爱英;孙丽丽 申请(专利权)人 宁波甬微集团有限公司
代理机构 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 单英
地址 315033 浙江省宁波市江北区通惠路252号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种压缩机滑片表面涂层,该涂层呈层叠结构,自压缩机滑片表面向上,依次为金属A过渡层、梯度过渡层与交替层;梯度过渡层为金属A掺杂的类石墨层,并且沿层叠方向金属A元素含量逐渐减小,碳元素含量逐渐增大;交替层由金属A掺杂的类石墨层与类石墨层交替形成。该涂层具有强的界面结合性,同时具有高硬度,高耐磨性。本发明提供一种采用磁控溅射制备该涂层的方法,工艺简单,易于产业化。