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溅镀膜和干膜的压合方法

基本信息

申请号 CN202110980065.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113427887A 公开（公告）日 2021-09-24
申请公布号 CN113427887A 申请公布日 2021-09-24
分类号 B32B37/12（2006.01）I;B32B37/10（2006.01）I;B32B37/06（2006.01）I;H01L21/56（2006.01）I 分类 层状产品;
发明人 杨胜吉 申请（专利权）人 常州欣盛半导体技术股份有限公司
代理机构 常州至善至诚专利代理事务所（普通合伙） 代理人 王颖
地址 213000江苏省常州市武进区潞横路2288号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种溅镀膜和干膜的压合方法，包括以下步骤：S1：在溅镀膜和干膜之间涂覆粘合剂，溅镀膜覆盖在干膜下方；S2：将经过步骤S1处理的溅镀膜和干膜一起送入上热压轮和下热压轮之间，此时，溅镀膜靠近下热压轮，干膜靠近上热压轮，干膜位于第一凹槽和第二凹槽之间；S3：上热压轮和下热压轮对溅镀膜和干膜进行压合处理。本发明的溅镀膜和干膜的压合方法，能够改善干膜两侧的溢胶粘附在上热压轮的表面以及碳化的溢胶会破坏溅镀膜和上热压轮表面的问题，提升产品的良率。