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COF载带烘烤流道及烘烤方法

基本信息

申请号	CN202111010130.X	申请日	-
公开（公告）号	CN113441368A	公开（公告）日	2021-09-28
申请公布号	CN113441368A	申请公布日	2021-09-28
分类号	B05D3/04（2006.01）I;H01L21/56（2006.01）I	分类	一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人	蔡水河;赵昱豪	申请（专利权）人	常州欣盛半导体技术股份有限公司
代理机构	常州至善至诚专利代理事务所（普通合伙）	代理人	朱丽莎
地址	213000江苏省常州市武进区潞横路2288号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种COF载带烘烤流道及烘烤方法，包括：两个流道组件，两个流道组件均位于烘烤箱内，两个流道组件上承载有沿第一方向输送的COF载带，两个流道组件相互平行，两个流道组件关于COF载带对称布置，两个流道组件之间的距离小于COF载带的宽度，流道组件的正投影与COF载带的正投影存在交集，流道组件的上表面具有多个凸起部，多个凸起部沿第一方向均匀布置，COF载带的下表面与多个凸起部相接触，相邻两个凸起部与COF载带之间形成通道，通道用以供烘烤箱内的热风通过。本发明的凸起部，减少了与COF载带的接触面积，降低了产生静电的概率；热风从相邻凸起部与COF载带之间的通道流动，避免了热风吹拂COF载带时，热风无法及时溢出，导致COF载带晃动的问题。