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清除COF载带表面金属异物的方法

基本信息

申请号	CN202111044595.7	申请日	-
公开（公告）号	CN113477627A	公开（公告）日	2021-10-08
申请公布号	CN113477627A	申请公布日	2021-10-08
分类号	B08B7/00（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I	分类	清洁;
发明人	蔡水河;黄煜程	申请（专利权）人	常州欣盛半导体技术股份有限公司
代理机构	常州至善至诚专利代理事务所（普通合伙）	代理人	朱丽莎
地址	213000江苏省常州市武进区潞横路2288号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种清除COF载带表面金属异物的方法，采用清洁装置，清洁装置包括支架组件及磁铁，支架组件架设在轨道上，磁铁安装在支架组件上，轨道上设有COF载带，磁铁的长度方向与COF载带的传送方向垂直。清除COF载带表面金属异物的方法包括以下步骤：S1：将支架组件安装在轨道上，再将磁铁安装在支架组件上，此时，磁铁位于COF载带的上方；S2：当COF载带在轨道上传送时，磁铁能够吸附COF载带表面的金属异物，使得COF载带的表面保持清洁。本发明将支架组件架设在轨道的两端，磁铁安装在支架组件上，在COF载带的传送过程中，磁铁能够吸附COF载带表面的金属异物，使得COF载带表面保持清洁，减少异常的发生。