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一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备

基本信息

申请号 CN201820100608.5 申请日 -
公开（公告）号 CN207765415U 公开（公告）日 2018-08-24
申请公布号 CN207765415U 申请公布日 2018-08-24
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 上官泉元;庄正军;邹开峰;朱海剑 申请（专利权）人 常州比太黑硅科技有限公司
代理机构 北京集智东方知识产权代理有限公司 代理人 常州比太黑硅科技有限公司
地址 213164 江苏省常州市武进高新区凤翔路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔；装载腔、工艺腔及卸载腔分别通过泵管路对应设置有装载泵、工艺泵及卸载泵；装载腔和卸载腔分别设置载板顶升机构，装载腔的载板顶升机构用于两块未处理载板的同时进出，卸载腔的载板顶升机构用于两块处理后载板的同时进出，载板在装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔之间由链式辊轮输送。由于采用了载板顶升机构，使得装载腔和卸载腔一次可以进出两块载板，因此大大提高设备的产能并由于减少了回填气体的频率而大大降低了能耗。