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一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备

基本信息

申请号 CN201820141072.1 申请日 -
公开（公告）号 CN207896066U 公开（公告）日 2018-09-21
申请公布号 CN207896066U 申请公布日 2018-09-21
分类号 H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 上官泉元;邹开峰;胡胜尧;庄正军;候岳明;朱广东 申请（专利权）人 常州比太黑硅科技有限公司
代理机构 北京集智东方知识产权代理有限公司 代理人 常州比太黑硅科技有限公司
地址 213164 江苏省常州市武进高新区凤翔路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种低能耗链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、工艺腔及卸载腔，工艺腔通过泵管路对应设置有工艺泵；装载腔与卸载腔通过泵管路连接至同一台真空泵，通过控制载板进出装载腔和卸载腔的节拍和流程并充分利用真空泵工作间歇时间以实现一个真空泵同时服务于装载腔和卸载腔；且当设备由于故障出现装载腔和卸载腔节拍干涉时，通过程序控制卸载腔优先工作以保证设备工艺顺畅，从而使设备恢复到正常的生产节拍。通过一台真空泵协调控制装载腔及卸载腔，节省一台真空泵的制造费用和硬件控制器件投入，且大大减少装载腔和卸载腔回填气体的消耗，并有效减少设备占地空间及使用方成本。