一种安全可控的太阳能硅片RIE制绒工艺
基本信息
| 申请号 | CN201811230915.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109449250A | 公开（公告）日 | 2019-03-08 |
| 申请公布号 | CN109449250A | 申请公布日 | 2019-03-08 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I; H01L31/0236（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 闫路; 上官泉元; 崔小帅; 陆鹏飞 | 申请（专利权）人 | 常州比太黑硅科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集智东方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 常州比太黑硅科技有限公司 |
| 地址 | 213164 江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种安全可控的太阳能硅片RIE制绒工艺，将硅片置于工艺反应腔体内，通过外围厂务供气系统对工艺反应腔体进行长距离供应O2和SF6，并同时通过SiCL4源瓶通过短距离管道对工艺反应腔体供应SiCL4；SiCL4、O2和SF6在工艺反应腔体内通过等离子体辉光放电电离后形成等离子体与硅片表面进行物理化学反应形成倒金字塔结构的坑洞；尾气通过尾排系统排出工艺反应腔体。该发明使用SiCL4替代CL2，可以将源瓶放置设备边上，安全性好控，实用简洁方便，工艺效果能够达到要求；使用SiCL4比CL2成本降低10%左右。 |
