一种清洗制绒用存放硅片的花篮
基本信息
| 申请号 | CN202023339403.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214152861U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214152861U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 上官泉元;芦伟 | 申请（专利权）人 | 常州比太黑硅科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集智东方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴倩 |
| 地址 | 213164江苏省苏州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号金沙江光电产业园内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种清洗制绒用存放硅片的花篮，包括对称设置的侧板，以及连接两侧侧板的顶部齿杆、侧部齿杆和底部齿杆，侧部齿杆位于侧板的左侧或右侧；顶部齿杆上等距设置有顶部卡齿；侧部齿杆上等距设置有侧部卡齿；底部齿杆上等距设置有底部卡齿；其中，底部卡齿与对应的硅片底部侧边呈30‑80°夹角α。本实用新型的底部齿杆上等距离分布着若干与对应的硅片侧边呈一定倾角的底部卡齿，由于该底部卡齿与硅片的接触面形成一个非90°的斜角而使得底部卡齿间夹带的液体更易滑落脱离，不易产生毛细作用吸附在硅片表面，有效缩减后道清洗或烘干工艺时长，并能避免硅片表面水印脏污的产生，保证清洗效果。 |
