一种检测器件、MEMS陀螺仪
基本信息
| 申请号 | CN202021316208.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212843622U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212843622U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | G01C19/5656(2012.01)I;G01C19/5663(2012.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王丹;宋吉涛;余综;牛满科;李慧灵 | 申请（专利权）人 | 北京坦达联轩控制技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100088北京市丰台区卢沟桥东关3.5号8幢2层203室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种检测器件、MEMS陀螺仪，涉及微电子机械系统领域技术领域。本实用新型的检测器件固定在玻璃基底上，包括：第一电极块、第二电极块、第一质量块、第二质量块和固定锚点，第一电极块和第一质量块、第二电极块和第二质量块均通过电容连接，第一电极块和第二电极块结构相同，第一质量块和第二质量块结构对称，对称设置在固定锚点之间；第一质量块、第二质量块、固定锚点之间通过支承梁连接，第一电极块、第二电极块、固定锚点均与玻璃基底键合，第一质量块和第二质量块悬浮在玻璃基底上方。本实用新型的技术方案提高了陀螺仪的品质因子Q，实现了驱动和检测的机械解耦，减少了噪声信号，提高了陀螺仪的信噪比。 |
