一种测试装置
基本信息
| 申请号 | CN202022111587.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212844317U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212844317U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | G01M13/00(2019.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 牛满科;赵阳;黄少锋 | 申请（专利权）人 | 北京坦达联轩控制技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100165北京市丰台区卢沟桥东关3.5号8幢2层203室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及机械领域，解决了目前测试MEMS器件时线缆较多、干扰大的技术问题。本实用新型的测试装置包括：上端盖、测试板和下端盖，上端盖和下端盖的外缘分别设置有多个第一凸台和第二凸台，第一凸台、测试板和第二凸台上分别开设有多个第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔，经同时穿过第一螺孔、第二螺孔和第三螺孔的螺栓，使上端盖、测试板和下端盖形成密闭空间；测试板上铺设有覆铜线，覆铜线外引至上端盖或下端盖的外缘外；下端盖远离测试板的一侧，导通连接有与下端盖一体化连接的筒体。本实用新型用于减少MEMS器件测试时的信号干扰。 |
