一种真空匀料填料蒸发设备及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202111235292.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113981378A | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN113981378A | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 彭寿;潘锦功;罗润;周冬;赵雷;樊建平;青汉森;东冬冬;王磊;余柯良;蒋猛;傅干华 | 申请（专利权）人 | 成都中建材光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都市集智汇华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 谢模杰;涂兴锐 |
| 地址 | 610000四川省成都市双流区西航港街道空港二路558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于薄膜制备技术领域，尤其涉及一种真空匀料填料蒸发设备，包括填料仓、沉积仓和计料机构；所述填料仓设有抽空阀，所述填料仓内设有储料箱；所述沉积仓设置于填料仓的下方，并与填料仓连通；所述计料机构位于调料仓内，所述计料机构可活动的设置在填料仓或沉积仓内；所述计料机构和储料箱之间设有第一阀门。本发明能够在原料用尽后，可实现密闭式填料，避免设备内器件在空气中的长时间暴露，大幅降低烘烤和抽真空时间，相应的减少整个填料周期，同时提高设备的稼动率，提高生产效率和产量。本发明还公开了一种应用于上述设备的使用方法。 |
