一种提高光伏组件用蒸镀设备稼动率的方法和装置
基本信息
| 申请号 | CN202111406028.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114134465A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114134465A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 樊建平;傅干华;蒋猛;赵雷;周冬;罗润;胡其林;王磊;彭寿;潘锦功 | 申请（专利权）人 | 成都中建材光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都市集智汇华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李华;温黎娟 |
| 地址 | 610000四川省成都市双流区西航港街道空港二路558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提高光伏组件用蒸镀设备稼动率的方法和装置，该方法是在蒸镀设备的各个腔室之间设置隔离装置，通过隔离装置的开启和关闭来实现蒸镀设备各个腔室之间的连通和隔离。所述隔离装置包括密封固定在蒸镀腔室内的隔离板，隔离板上开有供基材传输的传输口，传输口上设置有可移动的隔离门来实现传输口的开闭。本发明可以单独对故障的腔室区域进行降温破空处理，避免其他未发生故障或异常的区域在降温破空后与含有水汽的空气环境接触，避免这些区域再次抽空与升温的过程中额外浪费时间，可有效降低整体设备的维保及故障处理时间，提高整台设备的稼动率。 |
