一种碲化镉太阳能电池的连续生产装备
基本信息
| 申请号 | CN202111233770.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114005905A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN114005905A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 罗润;彭寿;周冬;赵雷;樊建平;东冬冬;青汉森;王磊;李甍娜;潘锦功;蒋猛;傅干华 | 申请（专利权）人 | 成都中建材光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都市集智汇华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 谢模杰;涂兴锐 |
| 地址 | 610000四川省成都市双流区西航港街道空港二路558号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于太阳能电池生产设备技术领域，公开了一种碲化镉太阳能电池的连续生产装备，包括沉积系统和退火系统；所述沉积系统用于在真空环境下为玻璃进行碲化镉沉积；所述退火系统与沉积系统连通，用于在非真空环境下为沉积碲化镉后的玻璃进行退火；所述沉积系统和退火系统之间设有第一过渡腔；所述退火系统设有气体过滤设备。本发明将沉积和退火两个制程工序实现集成，有效提高工艺效率、降低生产成本；并且利用气体过滤设备保证退火条件，确保退火效果。 |
