一种MEMS制程用有机清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN202210140575.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114602875A | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114602875A | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | B08B3/08（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B65G45/22（2006.01）I;B65B41/10（2006.01）I;B65B31/06（2006.01）I;B65B11/06（2006.01）I;B65B51/10（2006.01）I;B65B61/10（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 吴汉涛;薛殿友;孙珏 | 申请（专利权）人 | 无锡恒大电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡风创知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市建筑西路599-1（1号楼）1918室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种MEMS制程用有机清洗设备，属于芯片清洗技术领域，该清洗设备包括清洗箱体，清洗箱体两侧分别设置有进料口与出料口，清洗箱体内设置有有机清洗池，有机清洗池与进料口连通，进料口与有机清洗池通过输入轨道连通，输入轨道上设置有吹风筒，有机清洗池远离输入轨道一侧设置有输出轨道，输出轨道一侧远离有机清洗池一侧设置有检查箱，检查箱内设置有打包组件，出料口与打包组件通过滑槽连通，清洗箱体上设置有控制面板，控制面板通过导线与有机清洗池、输出轨道、检查箱、打包组件连接，本发明具有针对MEMS制程的有机清洗并做打包处理，避免出现二次污染问题，且本发明在节省有机溶剂的同时还能够有效的提高清洗效果。 |
