一种具有双向密封功能的半导体生产用气柜
基本信息
| 申请号 | CN202210242222.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114623371A | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN114623371A | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | F17C3/00（2006.01）I;F17C13/04（2006.01）I;F17C13/08（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 王敏;薛殿友 | 申请（专利权）人 | 无锡恒大电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡风创知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214000江苏省无锡市建筑西路599-1（1号楼）1918室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有双向密封功能的半导体生产用气柜，涉及特殊气体储存技术领域，包括底板、底膜、内膜和外膜，所述内膜与底膜之间形成储气腔，所述内膜与外膜之间形成调压腔，所述储气腔安装有进气管和出气管，所述进气管中设置有单向密封机构，所述出气管中安装有出气密封机构，所述调压腔顶端安装有调压机构，通过单向密封机构，使得只有通过进气管向储气腔内部注入气体时，单向密封机构才会在注入气体的气压作用下被打开，使得只能通过单向密封机构向储气腔内部注入气体，而使得储气腔中的气体无法通过单向密封机构排出，保证了密封性，并且，在储气腔内部的气体压力作用下对单向密封机构进行密封，无需利用其他额外的动力源。 |
