一种基于牺牲层工艺的表皮传感器制备方法及制备的产品

基本信息

申请号 CN201810454091.4 申请日 -
公开(公告)号 CN108553089B 公开(公告)日 2021-05-11
申请公布号 CN108553089B 申请公布日 2021-05-11
分类号 A61B5/00;H01L51/00 分类 医学或兽医学;卫生学;
发明人 吴豪;郭伟;黄鑫 申请(专利权)人 武汉华威科智能技术有限公司
代理机构 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 代理人 李佑宏
地址 430074 湖北省武汉市洪山区华中科技大学机械学院
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于牺牲层工艺的表皮传感器制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤(1)配置成聚乙烯醇溶液;步骤(2)清洗硬质基底;步骤(3)将配置的聚乙烯醇溶液旋涂在硬质基底上,之后加热固化成膜,制得聚乙烯醇牺牲层;步骤(4)在聚乙烯醇牺牲层上旋涂柔性高聚物材料之后加热使高聚物材料固化,形成柔性基底;步骤(5)在柔性基底上集成传感器元件;步骤(6)放入去离子水中并加热,使得聚乙烯醇牺牲层完全溶解;步骤(7)将集成了传感器元件的柔性基底从硬质基底上剥离,至此,表皮传感器制备完成。本发明可以保证剥离后传感器的完整性,聚乙烯醇牺牲层可溶于水,无毒无害,操作安全可靠,成本低。