一种采用激光在硅钢表面制备高硅涂层的方法

基本信息

申请号 CN200910012260.X 申请日 -
公开(公告)号 CN101597755B 公开(公告)日 2010-12-08
申请公布号 CN101597755B 申请公布日 2010-12-08
分类号 C23C16/48(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 刘常升;王恭凯;张滨;陈岁元;梁京;国玉军 申请(专利权)人 东北大学技术转移中心有限公司
代理机构 沈阳东大专利代理有限公司 代理人 东北大学;东北大学技术转移中心
地址 110004 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
法律状态 -

摘要

摘要 采用激光在硅钢表面制备高硅涂层的方法,按以下步骤进行:(1)将热轧无取向低硅钢表面清洗、喷砂处理;(2)将低硅钢置于真空条件下,然后在氩气和硅烷的混合气氛中进行激光照射,制备出沉积涂层;(3)置于真空条件下,加热至700~1100℃,保温2~6h,制备出高硅涂层。本发明的方法提高了渗硅效率,实现了快速渗硅;采用无氯硅源避免FeCl2的生成造成铁的损失并改善材料表面质量;对渗硅过程进行局部化约束来减少和避免尾气对原料气的稀释和污染。