一种用于设备改造的等离子清洗机构

基本信息

申请号 CN202022510281.9 申请日 -
公开(公告)号 CN214052922U 公开(公告)日 2021-08-27
申请公布号 CN214052922U 申请公布日 2021-08-27
分类号 B08B7/00(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 王金科;龙泷;陈明飞;刘永成;谭宏 申请(专利权)人 长沙壹纳光电材料有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 肖云
地址 410000湖南省长沙市金洲新区澳洲路068号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于设备改造的等离子清洗机构,包括:腔体,所述腔体的内壁上设有第一通孔;等离子发生板,所述等离子发生板设置在所述腔体内,且与所述腔体的腔壁间隔设置,所述离子发生板通过固定机构与所述腔体的腔壁固定连接,所述固定机构为绝缘结构;绝缘密封电极连接件,所述绝缘密封电极连接件固定穿设于所述第一通孔内,外部电源线通过所述绝缘密封电极连接件与所述等离子发生板相连。能够对现有的没有清洗机构的设备进行改造,使其具有等离子清洗机构,且改造部件少,成本低,本实用新型应用等离子清洗装置领域。