一种用于设备改造的等离子清洗机构
基本信息
申请号 | CN202022510281.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214052922U | 公开(公告)日 | 2021-08-27 |
申请公布号 | CN214052922U | 申请公布日 | 2021-08-27 |
分类号 | B08B7/00(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 王金科;龙泷;陈明飞;刘永成;谭宏 | 申请(专利权)人 | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 肖云 |
地址 | 410000湖南省长沙市金洲新区澳洲路068号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于设备改造的等离子清洗机构,包括:腔体,所述腔体的内壁上设有第一通孔;等离子发生板,所述等离子发生板设置在所述腔体内,且与所述腔体的腔壁间隔设置,所述离子发生板通过固定机构与所述腔体的腔壁固定连接,所述固定机构为绝缘结构;绝缘密封电极连接件,所述绝缘密封电极连接件固定穿设于所述第一通孔内,外部电源线通过所述绝缘密封电极连接件与所述等离子发生板相连。能够对现有的没有清洗机构的设备进行改造,使其具有等离子清洗机构,且改造部件少,成本低,本实用新型应用等离子清洗装置领域。 |
