一种IZO靶材前驱体及其制备方法与应用
基本信息
申请号 | CN202110625158.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113402261A | 公开(公告)日 | 2021-09-17 |
申请公布号 | CN113402261A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
分类号 | C04B35/01(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I | 分类 | 水泥;混凝土;人造石;陶瓷;耐火材料〔4〕; |
发明人 | 陈明飞;刘永成;郭梓旋;徐胜利;王志杰;江长久;陈明高 | 申请(专利权)人 | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 肖云 |
地址 | 410000湖南省长沙市金洲新区澳洲路068号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种IZO靶材前驱体及其制备方法与应用,该前驱体包括以下组分:氧化铟和氧化锌;所述氧化铟和所述氧化锌的质量比为1:0.05~0.2;所述IZO靶材前驱体的比表面积在5m/g至20m/g之间。本发明通过控制前驱体的制备方法解决了IZO靶材的均匀性问题;本发明的制备方法减少了IZO粉体的机械混合破碎工序,减少了混合破碎过程中杂质的引入;同时还有效的降低了生产成本。本发明制得的IZO靶材均匀性好,靶材在使用过程中不结瘤,不产生尖端放电,提高了膜层的均匀性。 |
