石墨舟矫正滑台和管式PECVD设备
基本信息
| 申请号 | CN202122647184.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216712233U | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN216712233U | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | C23C16/50（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 侯淇文;赵爱爽;董奎奎 | 申请（专利权）人 | 晶澳太阳能有限公司 |
| 代理机构 | 北京市万慧达律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 055550河北省邢台市宁晋县晶龙大街 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种石墨舟矫正滑台，其包括固定机构、X轴矫正机构和Y轴矫正机构，所述固定机构用于石墨舟的放置，所述X轴矫正机构和Y轴矫正机构均设在所述固定机构上，所述石墨舟在放置过程中通过所述X轴矫正机构在所述固定机构上沿X轴方向移动，所述石墨舟在放置后通过所述Y轴矫正机构在所述固定机构上沿Y轴方向移动，所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直。本申请具有以下效果：通过X轴矫正机构在石墨舟的放置过程中调节石墨舟沿X轴方向的位置，通过Y轴矫正机构在石墨舟放置后调节Y轴方向的位置，可以达到对石墨舟的平面位置进行矫正的目的，从而便于机械手对其进行精准地抓取。 |
