氧化铝沉积设备及供气方法
基本信息
| 申请号 | CN202010962180.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112144043B | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN112144043B | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵环;白进谦;王朝辉 | 申请（专利权）人 | 晶澳太阳能有限公司 |
| 代理机构 | 北京市万慧达律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 055550河北省邢台市宁晋县晶龙大街 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种氧化铝沉积设备，包括三甲基铝储液仓、氩气源、以及依次连通的液体蒸发器控制系统、混气管和反应仓；所述三甲基铝储液仓具有送液管，所述送液管与所述液体蒸发器控制系统连通；所述氩气源具有并联设置的第一送气管和第二送气管；所述第一送气管与所述液体蒸发器控制系统连通，所述第二送气管与所述混气管连通，以向所述混气管中补入氩气，形成通入所述反应仓中的工艺气体。本发明还公开了一种供气方法。通过本发明不仅可以有效降低液体蒸发器控制系统的堵塞概率，而且还能提升镀膜片的品质和生产产能，同时提升沉积设备自动化上下料设备的开机速率。 |
