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一种激光掺杂SE电池图形精度的检测方法

基本信息

申请号 CN202110031911.0 申请日 -
公开（公告）号 CN112768365B 公开（公告）日 2022-06-14
申请公布号 CN112768365B 申请公布日 2022-06-14
分类号 H01L21/66（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 王贵梅;王玉肖;张建军 申请（专利权）人 晶澳太阳能有限公司
代理机构 北京市万慧达律师事务所 代理人 -
地址 055550河北省邢台市宁晋县晶龙大街
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种激光掺杂SE电池图形精度的检测方法，包括如下步骤：步骤S1，分别测量待测电池片的激光线PT值、激光线间距值、边距偏移值、对角线差值、激光线的单侧偏移值、激光线的中线偏移值；步骤S2，分别判断上个步骤所测量的六种参数是否满足各自对应的精度要求；所述精度要求是根据SE电池图形的设计尺寸确定的。本申请的方案通过检测激光线的单侧偏移值、激光线的中线偏移值，能够精确地反映所有激光线的分布，在印刷工序之前及时发现SE电池图形异常的硅片，防止精度不够的硅片进入印刷工序从而在印刷对位时造成批量套印不良，有效避免丝网印刷图形与SE图形套印不良品的产生，提高经济效益。