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扩散炉和等离子体增强化学气相沉积设备的热量回收系统

基本信息

申请号 CN202122693085.4 申请日 -
公开（公告）号 CN216558337U 公开（公告）日 2022-05-17
申请公布号 CN216558337U 申请公布日 2022-05-17
分类号 F27D17/00（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I 分类 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕;
发明人 王广义;王瑞召;毕卫超 申请（专利权）人 晶澳太阳能有限公司
代理机构 北京市万慧达律师事务所 代理人 -
地址 055550河北省邢台市宁晋县晶龙大街
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种扩散炉和等离子体增强化学气相沉积设备的热量回收系统，其包括扩散炉、等离子体增强化学气相沉积设备和冷却塔，扩散炉和等离子体增强化学气相沉积设备与冷却塔之间设置有排风装置，且扩散炉和等离子体增强化学气相沉积设备通过排风装置与冷却塔或者大气相连通，排风装置上设置有用于切换排风装置的排风路径的阀门机构。本申请具有以下效果：冬季时，阀门机构控制扩散炉和等离子体增强化学气相沉积设备通过排风装置与冷却塔相连通，扩散炉和等离子体增强化学气相沉积设备将硅片制程过程中产生的热量通向冷却塔，冷却塔利用该热量进行升温换热，且冷却塔的填料不易因环境温度过低而产生冻结现象，达到了对热量进行回收的目的。