一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器
基本信息
| 申请号 | CN202210133188.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114551489A | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN114551489A | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | H01L27/146（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王少伟;玄志一;刘清权;陆卫 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 代理机构 | 上海沪慧律师事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 200083上海市虹口区玉田路500号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器，其结构自下而上由硅基读出电路、In柱互联层、InGaAs光敏芯片、衬底、集成微腔分光结构阵列组成。本发明中，集成微腔分光结构阵列是基于法布里珀罗（FP）光学微腔原理的多通道集成分光器件。每个分光结构与相应InGaAs光敏芯片像元一体化集成，使每个探测器像元同时具备选频分光和探测能力，构成分光与探测一体化的的短波红外光谱探测器。该探测芯片构成了最小化的短波红外光谱探测组件，具有分光与探测一体，光谱通道可以灵活设计、自由组合，稳定性高、工艺兼容等优点。 |
