航天器运动部件表面的掺硅类金刚石膜层以及结合到航天器运动部件表面的方法
基本信息
| 申请号 | CN201510172947.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104894513A | 公开（公告）日 | 2015-09-09 |
| 申请公布号 | CN104894513A | 申请公布日 | 2015-09-09 |
| 分类号 | C23C14/14(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周晖;郑军;杨拉毛草;万志华;桑瑞鹏;耿飞;沈志晨;惠进德 | 申请（专利权）人 | 江苏惠丰润滑材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 常熟市常新专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏惠丰润滑材料股份有限公司 |
| 地址 | 215538 江苏省苏州市常熟市支塘镇何市 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种航天器运动部件表面的掺硅类金刚石膜层以及结合到航天器运动部件表面的方法，属于金属零部件表面保护材料领域。包括基底层、结合于基底层表面的梯度过渡层和结合于梯度过渡层表面的类金刚石镀膜层，特点：基底层为钛层，梯度过渡层为钛和硅梯度过渡层，类金刚石镀膜层为掺硅类金刚石膜层。步骤：对航天器运动部件基体的表面进行超声波清洗；将得到的清洁基体引入真空溅射镀膜机中且在加热状态下抽真空；对清洁基体表面进行轰击清洗；在轰击清洗基体表面沉积钛层；对钛层的表面沉积钛和硅梯度过渡层；在钛和硅梯度过渡层的表面形成掺硅类金刚石膜层。具有良好的润滑和耐磨性，提高运动的可靠、稳定性和延长寿命；步骤简练、工艺参数易控。 |
