清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202022922355.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214555768U | 公开（公告）日 | 2021-11-02 |
| 申请公布号 | CN214555768U | 申请公布日 | 2021-11-02 |
| 分类号 | B08B3/10（2006.01）I;B01D5/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 万翠凤;刘志坤;孟晓龙;张中华;周峰 | 申请（专利权）人 | 江苏爱矽半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 徐州创荣知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈俊杰 |
| 地址 | 221000江苏省徐州市徐州经济技术开发区凤凰湾电子信息产业园A9、A10号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种清洗装置，包括工艺槽、液体加热储槽、蒸汽液化装置和回流储存装置；工艺槽与液体加热储槽通过管路连接，液体加热储槽顶盖通过管路、抽气泵与蒸汽液化装置连接，蒸汽液化装置与回流储存装置连接，回流储存装置与液体加热储槽连接；液体加热储槽内设有加热器，液体加热储槽上盖还并联一条排风管与抽气泵连接，排风管上设有减压阀门。本实用新型液体加热储槽与工艺槽分开，既方便作业员取放产品，也减少了对环境的蒸汽污染；液体加热储槽的蒸汽通过蒸汽液化装置冷凝后储存在回流储存装置中，以再次抽入到液体加热储槽中；既达到抽风，避免蒸汽挥发到空间中，影响作业环境，又起到了蒸汽回收重复使用的作用。 |
