一种提高剥离工艺成品率的方法
基本信息
| 申请号 | CN201410648800.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104317173B | 公开（公告）日 | 2019-06-28 |
| 申请公布号 | CN104317173B | 申请公布日 | 2019-06-28 |
| 分类号 | G03F7/42（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 徐利辉; 李朝阳 | 申请（专利权）人 | 四川飞阳科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王宝筠 |
| 地址 | 610209 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区长城路一段185号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种提高剥离工艺成品率的方法，包括在基底上涂覆光刻胶；对涂覆在所述基底上的所述光刻胶进行曝光，在所述光刻胶上显影出负斜角的图形；在显影后所述基底上保留的所述光刻胶和显影出负斜角的图形后暴露出的所述基底的表面淀积金属层；在所述金属层上覆盖粘贴膜；沿预设方向揭开所述粘贴膜的方式去除所述光刻胶的表面附着的金属层；将所述光刻胶除去。本发明所提供的提高剥离工艺成品率的方法可以简单有效地去除光刻胶表面的金属层，成品率得到显著提高。 |
