一种平面光波导的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201410369687.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104101950B | 公开（公告）日 | 2017-08-25 |
| 申请公布号 | CN104101950B | 申请公布日 | 2017-08-25 |
| 分类号 | G02B6/136(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 冯春蓉;向舟翊;李朝阳 | 申请（专利权）人 | 四川飞阳科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王宝筠 |
| 地址 | 610209 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区长城路一段185号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种平面光波导的制作方法，包括：在衬底表面形成芯层；在所述芯层表面形成金属层；在所述金属层表面形成光刻胶层，并图案化所述光刻胶层；将所述衬底水平放置在刻蚀槽内，以图案化后的光刻胶层为掩膜对所述金属层进行刻蚀，其中，所述衬底设置有所述金属层的表面朝上放置，所述金属层浸没在所述刻蚀槽内的金属刻蚀试剂内；判断对所述金属层的刻蚀是否完成，当所述刻蚀完成后，去除图案化后的光刻胶层，以刻蚀后的金属层为掩膜对所述芯层进行刻蚀，图案化所述芯层，形成预设结构的波导芯层；去除刻蚀后的金属层，在所述波导芯层表面形成保护层。所述制作方法降低了平面光波导的制作成本。 |
