一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其加工工艺
基本信息
申请号 | CN200610155910.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN101210556B | 公开(公告)日 | 2010-12-15 |
申请公布号 | CN101210556B | 申请公布日 | 2010-12-15 |
分类号 | F04C18/14(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I | 分类 | 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵; |
发明人 | 王光玉;张振厚;刘坤;秦柏林 | 申请(专利权)人 | 上海上凯仪真空技术有限公司 |
代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及罗茨泵设计,具体地说是一种直排大气的罗茨干式真空泵转子及其加工工艺。其加工工艺是用腰部圆弧替代渐开线设计转子块,单独加工转子块,再与中心轴进行组装;步骤:1)加工转子块:毛坯选用球墨铸铁棒材;加工方法:先加工棒材的外表面及两个端面,按转子块厚度切割,然后加工转子块的其余两个面(外圆面和内圆面),再根据使用要求切割成所需厚度的转子块;2)将两块转子块和销轴通过销孔连成一体。本发明具有加工工艺简单、成本低,零件通用性强、适用于IC装备等特点。 |
