一种能自动调压的干式真空泵控制方法
基本信息
| 申请号 | CN201210593500.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103047144A | 公开（公告）日 | 2013-04-17 |
| 申请公布号 | CN103047144A | 申请公布日 | 2013-04-17 |
| 分类号 | F04C28/08(2006.01)I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 郭丽娟;张宁;张军;李良进;王光玉 | 申请（专利权）人 | 上海上凯仪真空技术有限公司 |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种能自动调压的干式真空泵控制方法，测量从大气压到真空状态时真空腔体的真空度参数，比较目标真空度参数与已存的真空度参数，读取频率信号，使真空腔体达到频率信号下的真空度，通过循环逼近过程，完成闭环控制。本发明可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且具有温度，流量，排气压力，功率自动采集系统，可以根据报警设置值进行自我监测并具有自动保护功能。 |
