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一种多级干式真空泵的清洗装置

基本信息

申请号 CN200820013365.8 申请日 -
公开（公告）号 CN201200981Y 公开（公告）日 2009-03-04
申请公布号 CN201200981Y 申请公布日 2009-03-04
分类号 B08B5/00(2006.01);B08B5/02(2006.01) 分类 清洁;
发明人 王光玉;秦佰林;房伟;刘在行 申请（专利权）人 上海上凯仪真空技术有限公司
代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限公司 代理人 许宗富;周秀梅
地址 110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及真空泵清洗技术，具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置，包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路，减压阀的一端与气体输入端相连，另一端连接有质量流量控制器；气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分，质量流量控制器的输出端分为两路、分别与气体管路的第一、二部分相连接；质量流量控制器与气体管路连接的每一路均设有电磁阀；气体管路中的第一部分与干式真空泵的一级腔体相连接，第二部分分别与干式真空泵的二～五腔体连接。本实用新型对每一级腔体均起到了清洗作用，清洗彻底，具有控制简单、准确，真空度高等优点。