镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN200910308414.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102230163B | 公开（公告）日 | 2013-07-31 |
| 申请公布号 | CN102230163B | 申请公布日 | 2013-07-31 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 王仲培 | 申请（专利权）人 | 南通市崇川科技创业服务中心有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种镀膜装置，包括一个镀膜室、多个靶材、多个挡板以及多个驱动机构，所述多个靶材与多个挡板一一对应地设置于镀膜室内，每个驱动机构均包括驱动马达、与驱动马达相连接的齿轮以及与齿轮啮合的齿轨，所述驱动马达用于驱动齿轮转动，所述齿轮用于在驱动马达的驱动下带动齿轨移动，所述多个驱动机构的齿轨与所述多个挡板一一对应，每个齿轨均固设于一个与其对应的挡板，用于通过与齿轮的啮合带动该挡板相对于与该挡板对应的靶材移动，以使得挡板与该靶材相对从而遮蔽该靶材或者使得挡板与该靶材相背从而暴露该靶材。 |
