一种环保型半导体硅片清洗剂及其清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN201610246999.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107304385A | 公开（公告）日 | 2017-10-31 |
| 申请公布号 | CN107304385A | 申请公布日 | 2017-10-31 |
| 分类号 | C11D1/825(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I;C11D3/04(2006.01)I;C11D3/33(2006.01)I;C11D3/08(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 分类 | 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛; |
| 发明人 | 仲跻和 | 申请（专利权）人 | 江苏天恒纳米科技股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226601 江苏省南通市城东镇东海大道(东)18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种环保型半导体硅片清洗剂及其清洗方法，每100g清洗剂中以下重量份的原料组成：非离子表面活性剂0.1‑5g；渗透剂0.1‑5g；pH调节剂0.2‑10g；螯合剂0.2‑1g；余量为去离子水。本发明含有各种表面活性剂，同时添加有机碱，能有效去除硅研磨片表面残留的各种有机物、金属离子和吸附粒子，保证清洗的均一性，且清洗后硅片不会出现花状表面，使用寿命长，而且无金属污染，无毒，无腐蚀性，属于环保型产品。 |
