一种曲面光栅的加工装置及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110919278.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113759451A | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN113759451A | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | G02B5/18（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 金建;邸思;王旭迪;孙学通 | 申请（专利权）人 | 广州先进技术研究所 |
| 代理机构 | 广州容大知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘新年 |
| 地址 | 511458广东省广州市南沙区海滨路1121号A栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及微纳加工技术领域，具体涉及曲面光栅加工装置及其制备方法。曲面光栅加工装置包括平移台、PDMS夹具、透镜、透镜控制装置、圆柱筒、圆柱筒控制装置；PDMS夹具固定于平移台上方，用于夹持PDMS光栅模板；平移台用于移动PDMS光栅模板；透镜位于PDMS夹具下方；透镜控制装置用于移动透镜，透镜与PDMS光栅模板接触使其变形；圆柱筒位于PDMS夹具上方，用于装置PUA溶液以制备PUA曲面光栅；圆柱筒控制装置用于移动圆柱筒。本发明曲面光栅加工装置易于组装，成本低。本发明的曲面光栅的制备方法简单易操作，PUA可多次重复利用，可大量制作曲面光栅结构。 |
