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一种微流控系统及其制备方法

基本信息

申请号 CN202010659077.5 申请日 -
公开（公告）号 CN111939991A 公开（公告）日 2020-11-17
申请公布号 CN111939991A 申请公布日 2020-11-17
分类号 B01L3/00;C12M1/34;C12M1/02 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 史晓晶;柳俊文 申请（专利权）人 南京元感微电子有限公司
代理机构 北京中知法苑知识产权代理有限公司 代理人 南京元感微电子有限公司
地址 210032 江苏省南京市高新开发区星火路17号创智大厦B座6楼
法律状态 -

摘要

摘要 本公开提供一种微流控系统及其制备方法中，系统包括：底座；衬底，所述衬底设置在所述底座上，并且所述衬底上设置有入口、出口以及分别连通所述入口和所述出口的微流通道；微流泵，所述微流泵设置在所述衬底上，并与所述微流通道相连，以将流体经由所述入口和所述微流通道泵送至所述出口处；流量检测组件，所述流量检测组件设置在所述衬底上，所述流量检测组件与所述微流通道相对应，以检测所述微流通道内的流体流量。本公开实施例的一种微流控系统，将微流通道、微流泵、流量检测组件等均集成到同一衬底上，得到了使样品的注入、预处理、控制等功能结合在一起的集成芯片，实现了微流控分析系统的微型化。