测量固体间压力的力传感器

基本信息

申请号 CN201910454746.2 申请日 -
公开(公告)号 CN110044521B 公开(公告)日 2020-12-04
申请公布号 CN110044521B 申请公布日 2020-12-04
分类号 G01L1/02 分类 测量;测试;
发明人 柳俊文;史晓晶 申请(专利权)人 南京元感微电子有限公司
代理机构 北京中知法苑知识产权代理有限公司 代理人 南京元感微电子有限公司
地址 210032 江苏省南京市浦口区高新技术开发区星火路17号创智大厦B座6楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种测量固体间压力的力传感器。力传感器包括传感器主体,包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面,第一表面用于接收待测量的压力,第二表面上设置有液体腔以及位于液体腔沿其长度方向两侧且呈环状的卡接槽,液体腔呈柱状结构;弹性膜片,位于第二表面以接收压力并反馈至液体腔中,包括呈柱状的本体部以及自本体部向第一表面方向凸出且呈环状的卡接部,本体部覆盖并密封液体腔且其在液体腔的正投影落在液体腔外侧,卡接部卡设在卡接槽内;压力变送器,与液体腔连通,以测量液体腔内的液体压力信号。本发明的力传感器方便安装和密封,并可以实现准确且实时的测量压力。