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矢量水声传感器

基本信息

申请号	CN201910941430.6	申请日	-
公开（公告）号	CN110631688A	公开（公告）日	2019-12-31
申请公布号	CN110631688A	申请公布日	2019-12-31
分类号	G01H11/06;G01S7/521	分类	测量；测试;
发明人	史晓晶;柳俊文	申请（专利权）人	南京元感微电子有限公司
代理机构	北京中知法苑知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	南京元感微电子有限公司
地址	210032 江苏省南京市浦口区高新技术开发区星火路17号创智大厦B座6楼
法律状态	-

摘要

本发明提供一种矢量水声传感器，包括基板、设置在基板上的矢量芯片、以及与矢量芯片相连的水声接收件。矢量芯片包括硅衬底、沿至少两个不同方向设置在硅衬底上的水声测量件、芯片引脚、TGV玻璃以及设置在TGV玻璃中的金属化过孔，TGV玻璃夹设在基板和硅衬底之间，芯片引脚分别与水声测量件和金属化过孔连接。水声接收件，用于接收矢量水声信号；水声测量件，用于将矢量水声信号转换成矢量电信号；TGV玻璃，用于密封芯片引脚，并通过金属化过孔将矢量电信号传出。可测声场矢量信号，提高定位精度；可直接接触外界水环境介质，不需设置透声罩，避免透声罩带来的能量损耗，提高灵敏度；体积小，可缩小声呐系统体积，降低声呐系统工程的实施难度。