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一种压力与水声集成传感器及其制备方法

基本信息

申请号	CN202010569153.3	申请日	-
公开（公告）号	CN111537054B	公开（公告）日	2020-08-14
申请公布号	CN111537054B	申请公布日	2020-08-14
分类号	G01H3/00(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	史晓晶;柳俊文	申请（专利权）人	南京元感微电子有限公司
代理机构	北京中知法苑知识产权代理有限公司	代理人	南京元感微电子有限公司
地址	210032江苏省南京市高新开发区星火路17号创智大厦B座6楼
法律状态	-

摘要

本公开提供一种压力与水声集成传感器及其制备方法，集成传感器包括：衬底，衬底包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面上设置第一背腔和第二背腔；顶盖，顶盖设置在第二表面上，顶盖上设置有贯穿其厚度的第一金属化过孔和第二金属化过孔，并且顶盖朝向衬底的一侧还设置有第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔分别对应第一背腔和第二背腔；在衬底上采用同步构图工艺形成压力传感单元和水声传感单元，压力传感单元与第一金属化过孔相连，水声传感单元与第二金属化过孔相连。本公开的集成传感器，将压力传感器与水声传感器进行集成，压力传感器与水声传感器的探头之间距离较小，减少水声传感器的背景噪声，提高水声测量的精度。