一种弹簧力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201910454749.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110186596A | 公开（公告）日 | 2019-08-30 |
| 申请公布号 | CN110186596A | 申请公布日 | 2019-08-30 |
| 分类号 | G01L1/02;G01L1/04 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 柳俊文;史晓晶 | 申请（专利权）人 | 南京元感微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京中知法苑知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 南京元感微电子有限公司 |
| 地址 | 210032 江苏省南京市浦口区高新技术开发区星火路17号创智大厦B座6楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种弹簧力传感器。弹簧力传感器包括传感器主体，包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于接收待测量的弹簧力，第二表面上设置有液体腔；膜片，位于第二表面并密封液体腔，并承载液体腔内的液体压力；测压芯片，与液体腔连通，以测量液体腔内的液体压力信号；芯片基板，承载测压芯片；信号处理器，以处理测压芯片测量到的液压腔内的液体压力信号并输出。借助液体腔、膜片、测压芯片、芯片基板和信号处理器，可以实现准确且实时的测量弹簧力，另外，采用测压芯片直接测量液体腔内的液体压力信号，可以缩小弹簧力传感器的尺寸，并提高弹簧力传感器测量弹簧力的准确度。 |
