一种MEMS气体差压传感器
基本信息
| 申请号 | CN201711045942.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107830967B | 公开（公告）日 | 2019-11-26 |
| 申请公布号 | CN107830967B | 申请公布日 | 2019-11-26 |
| 分类号 | G01L13/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谷永先;吴孔培;黄从贵;瞿惠琴 | 申请（专利权）人 | 南京元感微电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡职业技术学院;南京元感微电子有限公司 |
| 地址 | 214121 江苏省无锡市高浪西路1600号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出的是一种MEMS气体差压传感器，其结构包括外壳，密封橡胶圈，芯片，电路板；其中，外壳中间有一个凹槽，芯片处在凹槽内，电路板盖在凹槽上方，电路板与外壳之间有密封橡胶圈。本发明的优点：1）相对于隔膜式差压传感器，能够检测低至0.1Pa的微小差压，并且具有高灵敏度、零点漂移小、以及高动态响应速度等优点；2）能够运用到医疗设备以及供热通风与空气调节等应用领域。 |
