测量固体间压力的力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201910454627.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110044520B | 公开（公告）日 | 2021-02-26 |
| 申请公布号 | CN110044520B | 申请公布日 | 2021-02-26 |
| 分类号 | G01L1/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 柳俊文;史晓晶 | 申请（专利权）人 | 南京元感微电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵吉阳;李明 |
| 地址 | 210032江苏省南京市浦口区高新技术开发区星火路17号创智大厦B座6楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种测量固体间压力的力传感器，包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于接收待测量的压力，第二表面上设置有液体腔，液体腔呈柱状结构；膜片，位于第二表面并密封液体腔，并承载液体腔内的液体压力，并在液体腔上的正投影落在液体腔外侧；测压芯片，与液体腔连通，并位于液体腔沿其径向方向的中部区域处，以测量液体腔内的液体压力信号；芯片基板，承载测压芯片；信号处理器，以处理测压芯片测量到的液体腔内的液体压力信号并输出。本发明可以实现准确且实时的测量压力，另外，采用测压芯片直接测量液体腔内的液体压力信号，可以缩小力传感器的尺寸，并提高力传感器测量固体间压力的准确度。 |
