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一种键合片分离设备

基本信息

申请号 CN201921815962.7 申请日 -
公开（公告）号 CN210925951U 公开（公告）日 2020-07-03
申请公布号 CN210925951U 申请公布日 2020-07-03
分类号 H01L21/67 分类 -
发明人 安凯 申请（专利权）人 沈阳硅基科技有限公司
代理机构 北京天奇智新知识产权代理有限公司 代理人 龙涛
地址 110000 辽宁省沈阳市沈阳出口加工区浑南东路15-22号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种键合片分离设备，包括机台，所述机台内前部处安装有若干结构相同的可升降暗盒载台，所述上真空机械手与机台相连接，所述下真空机械手的左右两侧处安装有一对结构相同的红外扫描刀具，一对所述红外扫描刀具与机台相连接，一对所述红外扫描刀具与键合片键合位置相对应，本实用新型涉及键合片分离技术领域,该键合片分离设备，本实用新型提供的是一种键合片分离装置，它包括：用于放置暗盒的升降载台，可实现带动暗盒上下移动方便真空机械手臂吸取键合片，采用上述结构，通过取键合片的真空机械手并充当键合片分离载台，带有红外线感应的双卡刀具并且可以通过调节装置来控制靠近或远离的运动。