晶圆存取机构
基本信息
| 申请号 | CN202020901521.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212553078U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212553078U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | B24B9/06(2006.01)I; | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 沈艳东 | 申请（专利权）人 | 广东长信精密设备有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆存取机构，包括储存部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置；第一驱动装置包括连接于座体的第一导轨以及可滑动地连接于第一导轨的第一滑块，第二驱动装置包括连接于第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于第二导轨的第二滑块，第一导轨和第二导轨相互垂直设置，储存部件连接于第二滑块，第一驱动装置和第二驱动装置用于驱动储存部件在两个相互垂直的方向上运动，储存部件上设有多个储存单元，以储存多个晶圆，可运动的储存部件使得晶圆自动搬送装置能够快速拾取储存部件上相应的晶圆，提高晶圆磨边机的加工效率。 |
