视觉检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202021094350.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212567289U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212567289U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 沈艳东;陈章水;汤显伟;莫海文;雷理 | 申请（专利权）人 | 广东长信精密设备有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;黄华莲 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆检测设备的技术领域，提供了一种视觉检测设备，包括：工作平台、设置在工作平台上并用于铺放晶圆的载物平台、光源，朝向载物平台的摄像头、第一升降器，以及第二升降器；摄像头通过第一升降器设置在工作平台上，光源通过第二升降器设置在工作平台上；载物平台位于摄像头与光源之间。光源通过第二升降器进行升降以调节光源与晶圆之间的相对高度，提升摄像头的拍照效果；摄像头通过第一升降器进行升降以调节摄像头与晶圆之间的相对高低位置关系并拍摄晶圆的边缘，用户通过晶圆的边缘图片来获取晶圆边缘形状和判断晶圆的厚度，非常方便，不会刮伤晶圆。 |
