晶圆搬送机构
基本信息
| 申请号 | CN202020899058.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212553077U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212553077U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | B24B9/06(2006.01)I; | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 沈艳东 | 申请（专利权）人 | 广东长信精密设备有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆搬送机构，包括晶圆拾取部件、座体、第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置包括水平地连接于座体的第一导轨以及可滑动地连接于第一导轨的第一滑块，第二驱动装置包括竖直地连接于第一滑块的第二导轨以及可滑动地连接于第二导轨的第二滑块，晶圆拾取部件连接于第二滑块，第一驱动装置和第二驱动装置可驱动晶圆拾取部件在两个相互垂直的方向上运动，以自动地将晶圆从晶圆储存盘搬运至加工主轴，从而提高晶圆磨边机的加工效率。 |
