晶圆压紧机构
基本信息
| 申请号 | CN202020898517.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212553075U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212553075U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | B24B9/06(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 陈章水;沈艳东;袁俏芳;黄毅;何飞舍 | 申请（专利权）人 | 广东长信精密设备有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址 | 511517广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号设备间 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆压紧机构，包括压紧轴体、座体和连接于座体的第一驱动装置，座体固定连接在晶圆磨边机的机架上，压紧轴体与加工主轴同轴设置，且压紧轴体位于加工主轴的上方，压紧轴体转动连接于第一驱动装置，第一驱动装置驱动压紧轴体沿其轴向运动以靠近或远离加工主轴，以压紧或释放加工主轴上的晶圆，当压紧轴体将晶圆压紧于加工主轴，压紧轴体还可相对第一驱动装置转动，以便跟随主轴旋转，在加工主轴旋转后无需再重新压紧定位，减少了生产步骤，提升生产效率。 |
