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一种硅片预对准装置

基本信息

申请号	CN201310479044.2	申请日	-
公开（公告）号	CN103489818B	公开（公告）日	2016-04-20
申请公布号	CN103489818B	申请公布日	2016-04-20
分类号	H01L21/68(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	陈百捷;姚广军;马丽梅;刘学辉	申请（专利权）人	北京京仪自动化技术研究院有限公司
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	徐宁
地址	100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种硅片预对准装置，它包括水平顶板，垂直设置在水平顶板一端的转轴，卡装在转轴顶端的吸盘，转动连接于转轴另一端的转轴电机，卡装在转轴上且位于吸盘下方的下托架，设置在下托架边缘的伸出爪，转动连接在伸出爪末端的定位轮以及通过连接件固定在水平顶板一端的一对射式传感器。转轴电机转动连接转轴，定位轮是由位于定位轮顶部的圆锥体、位于圆锥体下表面的倒圆锥体、位于倒圆锥体下表面的圆柱体以及位于圆柱体下表面的凸台组成，倒圆锥体、圆柱体和凸台形成一环形凹槽，圆锥体下表面与倒圆锥体上表面的直径相等，倒圆锥体下表面直径等于圆柱体的直径，凸台直径大于圆柱体直径。本发明具有对硅片损害、污染小，预对准精度高等优点。