一种晶圆传输机械手测试装置
基本信息
| 申请号 | CN201210539325.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103033381B | 公开（公告）日 | 2015-07-15 |
| 申请公布号 | CN103033381B | 申请公布日 | 2015-07-15 |
| 分类号 | G01M99/00(2011.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 马丽梅;赵力行;李浩林;姚广军;蒋俊海 | 申请（专利权）人 | 北京京仪自动化技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐宁 |
| 地址 | 100009 北京市西城区鼓楼西大街41号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动感应器和控制系统；支架包括一立柱，立柱上横向连接有一上连接杆和一下连接杆，上连接杆上设置一位移传感器，下连接杆上设置一图像传感器，位移传感器和图像传感器分别电连接控制系统；测试手叉包括一片状的手腕，手腕后部设置有若干通透的弧形孔，弧形孔前方的手腕上设置有连接手掌的若干长圆孔，手掌前部底面设置一具有定位标识和标定标识的定位板，手掌的顶面设置有一圆形凹台；类晶圆震动感应器的中心集成有加速度传感器，类晶圆震动感应器顶面的中心设置有一标定物。本发明可以广泛应用于各种传输机械手定位、重复定位精度的测试过程中。 |
